用金剛石線切割機(jī)或者砂漿切割機(jī)在切割碳化硅、單晶硅片的時(shí)候，在結(jié)束的時(shí)候會(huì)出現(xiàn)倒三角小崩邊情況，可能是什么原因呢？
我公司經(jīng)過(guò)金剛石線切割機(jī)搖擺方式的多次切割試驗(yàn)，發(fā)現(xiàn)切割晶體脆硬材料的時(shí)候，出刀的一端經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)一點(diǎn)倒角或者崩邊的情況，顯得切割結(jié)果不是那么。出現(xiàn)這種情況的原因可能是因?yàn)椴牧媳旧淼囊粋€(gè)重量，切割到結(jié)尾的時(shí)候，那個(gè)小點(diǎn)連接支持不住材料的重量，材料本身的重量往下掉落引起斷裂，從而出現(xiàn)一個(gè)小三角形。也就是說(shuō)，到后出現(xiàn)的那個(gè)倒三角不是被切下來(lái)的，而是硬生生被它自己折斷的。
臥式和立式金剛石線切割機(jī)切割的碳化硅比較
這種情況其實(shí)是可以通過(guò)一些工藝上的改變來(lái)解決的。
一、增加粘合物
如果在切割的時(shí)候，在出刀的那一邊的表面用一些特殊的膠水或者石蠟等粘一些跟加工材料密度相差不是很大的材料，在切割的時(shí)候，連粘合的材料一起切割，就不會(huì)使被加工材料出現(xiàn)那種倒三角。
二、切割工藝改變
選用立式結(jié)構(gòu)機(jī)床切割的時(shí)候，切割到后采用直切方式，并且放慢切割速度。并做好落料準(zhǔn)備。
三、選擇臥式結(jié)構(gòu)機(jī)床
避免落料引起的斷裂，可選擇臥式結(jié)構(gòu)的機(jī)床。在加工件底下墊上10mm厚木板或者玻璃，切到底連玻璃或木板一起切斷，就能避免出現(xiàn)倒三角或者崩邊的情況了。
